通断式真空控制器遇到过冲如何解决？

在工业真空应用领域，通断式（On-Off）真空控制器以其出色的成本效益和操作简便性，成为真空干燥、浸渍、脱泡等工艺的常见选择。然而，其固有的工作模式也带来了一个经典的技术挑战：会出现压力过冲。

一、症结所在

为何通断控制难以稳定？

通断式控制的逻辑简洁而明确，其工作原理如下：

1.监测：压力传感器实时读取腔体真空度。

2.比较：控制器将读取值与用户设定值进行比较。

3.执行：当压力>设定值 时，控制器接通电路，开始抽真空。当压力≤设定值 时，控制器断开电路，停止抽真空。

问题的核心矛盾在于：真空泵强大的“全速抽气”能力与系统微小的“固有漏气/放气”速率之间，缺乏一个可调的“缓冲器”。

抽气阶段：泵以Z大抽速工作，其抽气能力远大于系统缓慢的漏气率，导致其轻易冲过设定点。

停止阶段：真空抽气管路切断，但腔体材料放气、微小泄漏等气源仍在持续向系统内导入气体，导致压力缓慢回升。

二、破解之道

1、物理阻尼——加装真空缓冲罐

这是一个可针对性解决压力过冲的的物理解决方案。

原理：在真空腔体与泵之间的管路上，串联一个体积远大于腔体的真空罐（缓冲罐）。

作用：大幅增加系统的总容积（气容）。根据理想气体定律，容积越大，相同的 gas load（气体负载）引起的压力变化越缓慢。这为通断控制器提供了更长的反应时间，极大地平滑了压力波动，有效降低过冲。

适用场景：特别适用于小腔体配大泵的工况，是优化压力稳定性的实用方案。

2、机械限流——安装手动节流阀

这是一个成本低且实用性强的简易改造方案。

原理：在泵的进气口前端，安装一个手动针阀或精密球阀。

作用：通过手动调节阀门开度，机械性地限制抽气通道的流导，从而人为地降低泵的有效抽速。

操作：

1.抽气时，先将阀门调至全开状态。

2.当压力接近目标设定值时，缓慢关小阀门。

3.观察压力变化，将其调节稳定在目标值附近。

4.此时，通断控制器会在被限制后的、更平缓的压力曲线上进行小范围的启停控制，过冲现象得到极大改善。

优点：简单、便宜、立即生效。

缺点：需要根据不同的目标压力点手动预调节，无法实现全自动智能控制。

适用场景：对真空度稳定性有苛刻要求的应用，如半导体工艺、光学镀膜、高级别科研实验等。